气体质量流量控制器

Aera流量计气体质量流量控制器FC-DR980C  FC-DR981C：

Aera创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业，拥有研发及运营团队，掌握行业先进的流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器，气体工艺整体解决方案和服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始设备制造商（OEM）和终端用户（END-USER）。

气体质量流量控制器性能：

数字和模拟两用型控制

快速的响应

高精度

高度的可靠性和稳定性

易于整合——标准连接器和尺寸

规格

FC-DR980C

Full Scale Range (N2 Eqv)

单气体2-5000sccm

Control Valve Type 阀门类型

常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

Fitting

接头

1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容

IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

Seals 密封

橡胶 Viton金属

Response Time 响应时间

≤1Sec(超过满量程10%)

Accuracy

精度

25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)

2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

Linearity 线性度

≤ 满量程的±0.5%

Repeatability 重复性

≤ 满量程的±0.15%

Differential Pressure 压差

7 - 40psi

Leak lntegrity 漏率

Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

Control Range 控制范围

满量程的2-100%

Max Operating Pressure 高操作压力

70psi

Proof Pressure 承受压力

Z大值140psi

Communication Type 通讯模式

模拟0-5V / RS485

Input Power

输入功率

+15VDC ±2% at 100mA

-15VDC ±2% at 200mA

Command Signal 输入模拟信号

模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-100%

Output Signal 输出模拟信号

模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-100%

Power Consumption 功耗

4.5W

Temperature Range 温度范围

5-45 Deg C

Materials 材料

316LSS，316SS，PTFE

Weight 重量

1.2kg