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气体质量流量控制器

产品时间:2020-08-18

简要描述:

Aera流量计 气体质量流量控制器
FC-DR980C
◆ 流量可覆盖10sccm-30slm包含腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 快速反应
◆ 数字和模拟通讯控制模式,橡胶或金属密封
◆ 高可靠性和实用性

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Aera流量计 气体质量流量控制器

FC-DR980C  FC-DR981C 

Aera创建于美国,是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,拥有研发及运营团队,掌握全球行业先进的流体测量及控制技术,专注于全球高科技工业领域的广泛应用,包括半导体、新能源、 新材料,平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器,气体工艺整体解决方案和全球服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始设备制造商(OEM)和终端用户(END-USER)。

气体质量流量控制器性能:

数字和模拟两用型控制

快速的响应 

高精度

高度的可靠性和稳定性

易于整合——标准连接器和尺寸

 

  • 规格
  • FC-DR980C
  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 单气体2-5000sccm
  • Control Valve Type 阀门类型
  • 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
  • Fitting
    接头
  • 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
    IGS 底部/表面贴装(c或w密封)
  • Seals 密封
  • 橡胶 Viton金属
  • Response Time 响应时间
  • ≤1Sec(超过满量程10%)
  • Accuracy
    精度
  • 25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)
    2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)
  • Linearity 线性度
  • ≤ 满量程的±0.5%
  • Repeatability 重复性
  • ≤ 满量程的±0.15%
  • Differential Pressure 压差
  • 7 - 40psi
  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)
  • Control Range 控制范围
  • 满量程的2-100%
  • Max Operating Pressure 高操作压力
  • 70psi
  • Proof Pressure 承受压力
  • Z大值140psi
  • Communication Type 通讯模式
  • 模拟0-5V / RS485
  • Input Power
    输入功率
  • +15VDC ±2% at 100mA
    -15VDC ±2% at 200mA
  • Command Signal 输入模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-100%
  • Output Signal 输出模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-100%
  • Power Consumption 功耗
  • 4.5W
  • Temperature Range 温度范围
  • 5-45 Deg C
  • Materials 材料
  • 316LSS,316SS,PTFE
  • Weight 重量
  • 1.2kg

 

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