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气体质量流量控制器

产品时间:2021-09-08

简要描述:

Aera流量计 气体质量流量控制器
FC-DR980C
◆ 流量可覆盖10sccm-30slm包含腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 快速反应
◆ 数字和模拟通讯控制模式,橡胶或金属密封
◆ 高可靠性和实用性

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Aera流量计 气体质量流量控制器

FC-DR980C  FC-DR981C

Aera创建于美国,是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,拥有研发及运营团队,掌握行业先进的流体测量及控制技术,专注于高科技工业领域的广泛应用,包括半导体、新能源、 新材料,平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器,气体工艺整体解决方案和服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始设备制造商(OEM)和终端用户(END-USER)。

气体质量流量控制器性能:

数字和模拟两用型控制

快速的响应

高精度

高度的可靠性和稳定性

易于整合——标准连接器和尺寸

  • 规格

  • FC-DR980C

  • Full Scale Range (N2 Eqv)

  • 单气体2-5000sccm

  • Control Valve Type 阀门类型

  • 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

  • Fitting
    接头

  • 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
    IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

  • Seals 密封

  • 橡胶 Viton金属

  • Response Time 响应时间

  • ≤1Sec(超过满量程10%)

  • Accuracy
    精度

  • 25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)
    2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

  • Linearity 线性度

  • ≤ 满量程的±0.5%

  • Repeatability 重复性

  • ≤ 满量程的±0.15%

  • Differential Pressure 压差

  • 7 - 40psi

  • Leak lntegrity 漏率

  • Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

  • Control Range 控制范围

  • 满量程的2-100%

  • Max Operating Pressure 高操作压力

  • 70psi

  • Proof Pressure 承受压力

  • Z大值140psi

  • Communication Type 通讯模式

  • 模拟0-5V / RS485

  • Input Power
    输入功率

  • +15VDC ±2% at 100mA
    -15VDC ±2% at 200mA

  • Command Signal 输入模拟信号

  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-100%

  • Output Signal 输出模拟信号

  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-100%

  • Power Consumption 功耗

  • 4.5W

  • Temperature Range 温度范围

  • 5-45 Deg C

  • Materials 材料

  • 316LSS,316SS,PTFE

  • Weight 重量

  • 1.2kg


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