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质量式气体流量计

产品时间:2020-08-18

简要描述:

质量式气体流量计
FC-R7700CD 气体质量流量控制器
◆ 流量可覆盖10sccm-200slm非腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 快速反应
◆ 模拟通讯控制模式,橡胶密封
◆ 高可靠性和实用性

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质量式气体流量计

Aera流量计 Aera 气体质量流量控制器

FC-R7700CD  FC-R7710CD FC-R7720CD

Aera创建于美国,是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,拥有*研发及运营团队,掌握全球行业先进的流体测量及控制技术,专注于全球高科技工业领域的广泛应用,包括半导体、新能源、 新材料,平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器,气体工艺整体解决方案和全球服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始设备制造商(OEM)和终端用户(END-USER)。

质量式气体流量计 性能:

快速的响应,响应时间<2秒.  

精度≤1%FS   线性度小于等于0.5%FS  重复性≤0.2%FS

易于整合——标准连接器和尺寸

高度的可靠性和稳定性

特点:

耐腐蚀性,流量范围从10sccm-200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性连接

橡胶密封

常关或常开的电磁控制阀

泄漏率1 x 10-7 atm-cc/sec of He

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