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硫化氢质量流量计

产品时间:2020-08-18

简要描述:

硫化氢质量流量计
Aera气体质量流量计
FC-R7800CD 气体质量流量控制器
◆ 流量可覆盖10sccm-200slm包含腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 快速反应
◆ 模拟通讯控制模式,金属密封
◆ 高可靠性和实用性

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硫化氢质量流量计

Aera流量计 Aera 气体质量流量控制器

FC-R7800CD  FC-R7810CD FC-R7820CD

 质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜,对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构,结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后,我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求,推出高性能数字质量流量控制器,为半导体的制造技术的发展做贡献。

Aera质量流量控制器产品源于美国,是流体控制领域的标志性企业

硫化氢质量流量计 性能:

快速的响应,响应时间<1秒.  

精度≤1%FS   线性度小于等于0.5%FS  重复性≤0.2%FS

易于整合——标准连接器和尺寸

高度的可靠性和稳定性

特点:

耐腐蚀性,流量范围从10sccm-200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性连接

全金属密封

常关或常开的电磁控制阀

泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He

       Aera创建于国,是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,掌握全球行业先进的流体测量及控制技术,专注于全球高科技工业领域的广泛应用,包括半导体、新能源、 新材料,平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器,气体工艺整体解决方案和全球服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始设备制造商(OEM)和终端用户(END-USER)。

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