硫化氢质量流量计

硫化氢质量流量计

Aera流量计 Aera 气体质量流量控制器

FC-R7800CD  FC-R7810CD FC-R7820CD

质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜，对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构，结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后，我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求，推出高性能数字质量流量控制器，为半导体的制造技术的发展做贡献。

Aera质量流量控制器产品源于美国，是流体控制领域的标志性企业

硫化氢质量流量计 性能：

快速的响应,响应时间＜1秒.

精度≤1%FS   线性度小于等于0.5%FS  重复性≤0.2%FS

易于整合——标准连接器和尺寸

高度的可靠性和稳定性

特点:

耐腐蚀性，流量范围从10sccm－200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性连接

全金属密封

常关或常开的电磁控制阀

泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He

      Aera创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,掌握行业*的流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器，气体工艺整体解决方案和服务支持方案。Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始设备制造商（OEM）和终端用户（END-USER）。