小流量氧气流量计

  小流量氧气流量计

  MC-DG901C  数字型橡胶密封质量流量控制器

• Full Scale Range (N2 Eqv)

• 单气体5-50SLM

• Control Valve Type 阀门类型

• 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

• Fitting

  接头

  
  

• 1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容

  IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

  
  

• Seals 密封

• 橡胶

• Response Time 响应时间

• ≤1Sec(超过满量程10%)

• Accuracy

  精度

  
  

• 25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)

  2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

  
  

• Linearity 线性度

• ≤ 满量程的±0.5%

• Repeatability 重复性

• ≤ 满量程的±0.2%

• Differential Pressure 压差

• 7 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率

• Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围

• 满量程的2-100%

• Max Operating Pressure Z高操作压力

• 70psi

• Proof Pressure 承受压力

• Z大值140psi

• Communication Type 通讯模式

• 模拟0-5V / RS485

• Input Power

  输入功率

  
  

• +15VDC ±2% at 100mA

  -15VDC ±2% at 200mA

  
  

• Command Signal控制信号

• 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-100%

• Output Signal 输出模拟信号

• 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-100%

• Surface Finish 表面处理

• 电解法抛光和超洁净 ≤ 5Ra

• Temperature Range 温度范围

• 5-45 Deg C

• Materials 材料

• 316LSS,316SS,PTFE,KM45

• Weight 重量

• 1.0kg

小流量氧气流量计

     Warwick 创建于英国，是一家高速成长的科技公司，拥有自己的研发团队和核心技术，专注于广泛的高科技领域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化"的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始 设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。