产品展示
PRODUCT DISPLAY
产品展示您现在的位置: 首页 > 产品展示 > 气体质量流量计 > 气体质量流量计 >小流量气体流量计

小流量气体流量计

产品时间:2021-09-08

简要描述:

小流量气体流量计
MC-1600L 气体质量流量控制器
◆ 流量可覆盖2-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 高性价比
◆ 模拟通讯控制模式,同类产品中表现出色
◆ 自动复零功能设置,增加工艺稳定性

在线咨询 点击收藏

小流量气体流量计

MC-1600L 气体质量流量控制器

  • 规格

  • MC-1600L

  • Full Scale Range (N2 Eqv)

  • 单气体2-5000sccm

  • Control Valve Type 阀门类型

  • 常闭式螺线管

  • Fitting 接头

  • 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容

  • Seals 密封

  • 橡胶 Viton

  • Response Time 响应时间

  • 到达设定点±2% 所需时间≤1Sec

  • Accuracy 精度

  • ≤满量程1%

  • Linearity 线性度

  • ≤ 满量程的±1%

  • Repeatability 重复性

  • ≤ 满量程的±0.5%

  • Differential Pressure 压差

  • 7 - 40psi

  • 10 - 40psi

  • Leak lntegrity 漏率

  • Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

  • Control Range 控制范围

  • 满量程的5-100%

  • Max Operating Pressure 高操作压力

  • 50psi

  • Proof Pressure 承受压力

  • Z大值150psi

  • Communication Type 通讯模式

  • 模拟0-5V

  • Input Power
    输入功率

  • +15VDC ±2% at 25mA
    -15VDC ±2% at 180mA

  • Command Signal 控制信号

  • 模拟信号0-5 VDC

  • Output Signal 输出模拟信号

  • 模拟信号0-5 VDC

  • Power Consumption 功耗

  • 3.1W

  • Temperature Range 温度范围

  • 5-45 Deg C

  • Materials 材料

  • 316LSS,PTFE

  • Weight 重量

  • 0.9kg

   小流量气体流量计  

        Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,拥有自己的研发团队和核心技术,专注于广泛的高科技领域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化"的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。


留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
联系方式
  • 电话

    86-0755-82379886

  • 传真

在线客服