小流量气体流量计
MC-1600L 气体质量流量控制器
- Full Scale Range (N2 Eqv)
- 单气体2-5000sccm
- Control Valve Type 阀门类型
- 常闭式螺线管
- Fitting 接头
- 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容
- Response Time 响应时间
- 到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
- Repeatability 重复性
- ≤ 满量程的±0.5%
- Differential Pressure 压差
- 7 - 40psi
- 10 - 40psi
- Leak lntegrity 漏率
- Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
- Control Range 控制范围
- 满量程的5-100%
- Max Operating Pressure 高操作压力
- 50psi
- Proof Pressure 承受压力
- Z大值150psi
- Communication Type 通讯模式
- 模拟0-5V
- Input Power
输入功率 - +15VDC ±2% at 25mA
-15VDC ±2% at 180mA
- Command Signal 控制信号
- 模拟信号0-5 VDC
- Output Signal 输出模拟信号
- 模拟信号0-5 VDC
- Temperature Range 温度范围
- 5-45 Deg C
小流量气体流量计
Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,拥有自己的研发团队和核心技术,专注于广泛的高科技领域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。