小流量气体流量计

小流量气体流量计

MC-1600L 气体质量流量控制器

• 规格

• MC-1600L

• Full Scale Range (N2 Eqv)

• 单气体2-5000sccm

• Control Valve Type 阀门类型

• 常闭式螺线管

• Fitting 接头

• 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容

• Seals 密封

• 橡胶 Viton

• Response Time 响应时间

• 到达设定点±2% 所需时间≤1Sec

• Accuracy 精度

• ≤满量程1%

• Linearity 线性度

• ≤ 满量程的±1%

• Repeatability 重复性

• ≤ 满量程的±0.5%

• Differential Pressure 压差

• 7 - 40psi

• 10 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率

• Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围

• 满量程的5-100%

• Max Operating Pressure 高操作压力

• 50psi

• Proof Pressure 承受压力

• Z大值150psi

• Communication Type 通讯模式

• 模拟0-5V

• Input Power

  输入功率

  
  

• +15VDC ±2% at 25mA

  -15VDC ±2% at 180mA

  
  

• Command Signal 控制信号

• 模拟信号0-5 VDC

• Output Signal 输出模拟信号

• 模拟信号0-5 VDC

• Power Consumption 功耗

• 3.1W

• Temperature Range 温度范围

• 5-45 Deg C

• Materials 材料

• 316LSS,PTFE

• Weight 重量

• 0.9kg

   小流量气体流量计  

        Warwick 创建于英国，是一家高速成长的科技公司，拥有自己的研发团队和核心技术，专注于广泛的高科技领域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化"的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始 设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。