AEORHC 和 MKS 两种品牌比例电磁阀的比较
美国MKS 品牌比例电磁阀主要系列型号如下:
(1)148J全金属流量控制阀:金属密封,流量范围0~20L/mim。
(2)154B大流量控制阀:橡胶密封,流量范围20~200L/mim。
(3)248D通用型流量控制阀:橡胶密封,流量范围0~50L/mim。

AEORHC 品牌主要有三种系列比例阀:
(1)8000系列比例阀:氟橡胶或全氟密封,流量范围 0~18 L/min (0.1Mpa)
(2) 6000系列比例阀:氟橡胶或全氟密封,流量范围 0-56 L/min (0.1Mpa)
(3) 9000 系列比例阀:氟橡胶或全氟密封,流量范围 0-200 L/min (0.1Mpa)

AEORHC 和 MKS 两种比例阀结构和工作原理相同,
主要用于气体流量和压力控制。
MKS 产品在半导体、碳材料、太阳能设备等行业应用广泛,
比如气相沉积设备(MPCVD),控制气体真空压力;
AEORHC 产品在相同行业被大批量采用,
AEORHC 产品技术来自于美国和日本,
关键原材料从国外进口,
在原有工艺的基础上加以改进,
结构紧凑,精度、重复性和稳定性好,
全氟密封可以用在有腐蚀性气体的场合,
品种多,供货周期短,性价比高,
在高要求的应用领域正逐步取代MKS的产品。