产品时间:2021-12-18
氩气流量计MC-1600L 气体质量流量控制器 ◆ 流量可覆盖2-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2) ◆ 高性价比 ◆ 模拟通讯控制模式,同类产品中表现出色 ◆ 自动复零功能设置,增加工艺稳定性
氩气流量计
MC-1600L 气体质量流量控制器
规格
MC-1600L
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm
Control Valve Type 阀门类型
常闭式螺线管
Fitting 接头
1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容
Seals 密封
橡胶 Viton
Response Time 响应时间
到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
Accuracy 精度
≤满量程1%
Linearity 线性度
≤ 满量程的±1%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.5%
Differential Pressure 压差
7 - 40psi
10 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范围
满量程的5-100%
Max Operating Pressure 高操作压力
50psi
Proof Pressure 承受压力
Z大值150psi
Communication Type 通讯模式
模拟0-5V
Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 25mA
-15VDC ±2% at 180mA
Command Signal 控制信号
模拟信号0-5 VDC
Output Signal 输出模拟信号
模拟信号0-5 VDC
Power Consumption 功耗
3.1W
Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS,PTFE
Weight 重量
0.9kg
氩气流量计
Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,拥有自己的研发团队和核心技术,专注于广泛的高科技领域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化"的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。