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小流量质量流量计

产品时间:2020-08-18

简要描述:

小流量质量流量计
MC-1600L 气体质量流量控制器
◆ 流量可覆盖2-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 高性价比
◆ 模拟通讯控制模式,同类产品中表现出色
◆ 自动复零功能设置,增加工艺稳定性

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小流量质量流量计

MC-1600L 气体质量流量控制器

  • 规格
  • MC-1600L
  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 单气体2-5000sccm
  • Control Valve Type 阀门类型
  • 常闭式螺线管
  • Fitting 接头
  • 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容
  • Seals 密封
  • 橡胶 Viton
  • Response Time 响应时间
  • 到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
  • Accuracy 精度
  • ≤满量程1%
  • Linearity 线性度
  • ≤ 满量程的±1%
  • Repeatability 重复性
  • ≤ 满量程的±0.5%
  • Differential Pressure 压差
  • 7 - 40psi
  • 10 - 40psi
  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
  • Control Range 控制范围
  • 满量程的5-100%
  • Max Operating Pressure 高操作压力
  • 50psi
  • Proof Pressure 承受压力
  • Z大值150psi
  • Communication Type 通讯模式
  • 模拟0-5V
  • Input Power
    输入功率
  • +15VDC ±2% at 25mA
    -15VDC ±2% at 180mA
  • Command Signal 控制信号
  • 模拟信号0-5 VDC
  • Output Signal 输出模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC
  • Power Consumption 功耗
  • 3.1W
  • Temperature Range 温度范围
  • 5-45 Deg C
  • Materials 材料
  • 316LSS,PTFE
  • Weight 重量
  • 0.9kg

小流量质量流量计

         Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,是多种气体配套产品 的全球化公司,拥有自己的研发团队,掌握先进的核心技术,专注于全球广泛的高科技领域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同先进工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球 服务支持方案。Warwick始终 致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。

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