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硅烷质量流量计

产品时间:2020-08-18

简要描述:

硅烷质量流量计
FC-DR980C-4V-SiH4
SiH4 就叫硅烷,硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体

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硅烷质量流量计

FC-DR980C-4V-SiH4

硅烷质量流量计性能:

数字和模拟两用型控制

快速的响应 

高精度

高度的可靠性和稳定性

易于整合——标准连接器和尺寸

Aera创建于美国,是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业,拥有研发及运营团队,掌握行业先进的流体测量及控制技术,专注于高科技工业领域的广泛应用,包括半导体、新能源、 新材料,平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器,Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始设备制造商(OEM)和终端用户(END-USER)

 

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