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甲烷质量流量计

产品时间:2021-09-08

简要描述:

甲烷质量流量计
MC-AN602C 气体质量流量控制器
◆ 可满足200slm大流量的非腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 可靠的稳定性及精度
◆ 易于集成-标准接头尺寸
◆ 控制方式可设定为0-5V或4-20mA

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甲烷质量流量计

MC-AN602C 气体质量流量控制器

  • 规格

  • MC-AN602

  • Full Scale Range (N2 Eqv)

  • 单气体30-200slm

  • Control Valve Type 阀门类型

  • 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

  • Fitting 接头

  • 1/4" or 3/8"VCR兼容1/4"or3/8"Swagelok兼容

  • Seals 密封

  • 橡胶 Viton

  • Response Time 响应时间

  • ≤3.0Sec

  • Accuracy 精度

  • ≤满量程2%

  • Linearity 线性度

  • ≤ 满量程的±1%

  • Repeatability 重复性

  • ≤ 满量程的±0.2%

  • Differential Pressure 压差

  • 21 - 40psi

  • Leak lntegrity 漏率

  • Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

  • Control Range 控制范围

  • 满量程的2-100%

  • Max Operating Pressure 操作压力

  • 50psi

  • Proof Pressure 承受压力

  • Z大值150psi

  • Communication Type 通讯模式

  • 模拟0-5V / 4-20mA

  • Input Power
    输入功率

  • +15VDC ±2% at 50mA
    -15VDC ±2% at 150mA

  • Command Signal 控制信号

  • 0-5 VDC / 4-20 mA

  • Output Signal 输出模拟信号

  • 0-5 VDC / 4-20 mA

  • Power Consumption 功耗

  • 3.5W

  • Temperature Range 温度范围

  • 5-45 Deg C

  • Materials 材料

  • 316LSS,316SS,PTFE

  • Weight 重量

  • 2.2kg


甲烷质量流量计

Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,拥有自己的研发团队和核心技术,专注于广泛的高科技领域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化"的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。


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