质量流量计选型

质量流量计选型

MC-1601L 气体质量流量控制器

• 规格
• MC-1601L

• Full Scale Range (N2 Eqv)
• 单气体5-50slm

• Control Valve Type 阀门类型
• 常闭式螺线管

• Fitting 接头
• 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容

• Seals 密封
• 橡胶 Viton

• Response Time 响应时间
• 到达设定点±2% 所需时间≤2Sec

• Accuracy 精度
• ≤满量程1%

• Linearity 线性度
• ≤ 满量程的±1%

• Repeatability 重复性
• ≤ 满量程的±0.5%

• Differential Pressure 压差
• 7 - 40psi
• 10 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率
• Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围
• 满量程的5-100%

• Max Operating Pressure 高操作压力
• 50psi

• Proof Pressure 承受压力
• Z大值150psi

• Communication Type 通讯模式
• 模拟0-5V

• Input Power
  输入功率
• +15VDC ±2% at 25mA
  -15VDC ±2% at 180mA

• Command Signal 控制信号
• 模拟信号0-5 VDC

• Output Signal 输出模拟信号
• 模拟信号0-5 VDC

• Power Consumption 功耗
• 3.1W

• Temperature Range 温度范围
• 5-45 Deg C

• Materials 材料
• 316LSS,PTFE

• Weight 重量
• 0.9kg

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     Warwick 创建于英国，是一家高速成长的科技公司，拥有自己的研发团队和核心技术，专注于广泛的高科技领域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始 设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。