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高温气体质量流量控制器

产品时间:2024-08-08

简要描述:

高温气体质量流量控制器
型号:MC-DG910HT
这款产品流体经过部分采用全金属密封,
控制部分和过流部分开设计,
介质工作温度可达120℃
在半导体、镀膜、太阳能多晶硅制程中有广泛的应用

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高温气体质量流量控制器

品牌:WAWICK

型号:MC-DG910HT

传输速度:9.6KBaud - 38.4KBaud
支持±15VDC或+24VDC供电使用
适用原厂RS485 ASCII通讯协议
可通用Modbus-RTU协议
配置两个RJ11通讯接口,可实现多个MFC串联使用
可通过Modbus或RS485控制软件编辑设备地址和传输速度单条总线可实现最多125台MFC链接
单条总线可实现最多125台MFC链接

可配OLED集成控制面板,实现无工具独立控制与配置设备

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注1:高温气体质量流量控制器为全金属密封设计。 在50-90 degC温度范围,选用中小流量型号  

   (MC- DG910/MC-DG911)。 在90-120 degC温度范围,选用大流量型号(MC-DG912)。

注2:高温MFC支持沃威产品下的所有通讯协议,具体选型见前页或联系销售代表。






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