氧气质量流量计

氧气质量流量计

AEORHC 模拟通讯质量流量控制器（MFC）

• 规格

• 4800 系列
  

• Full Scale Range (N2 Eqv)

• 单气体2CM-50SLM

• Control Valve Type 阀门类型

• 常闭式螺线管

• Fitting 接头

• 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容

• Seals 密封

• 橡胶 Viton/FFKM/金属密封

• Response Time 响应时间

• 到达设定点±2% 所需时间≤1Sec

• Accuracy 精度

• ≤满量程1%

• Linearity 线性度

• ≤ 满量程的±1%

• Repeatability 重复性

• ≤ 满量程的±0.5%

• Differential Pressure 压差

• 7 - 40psi

• 10 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率

• Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围

• 满量程的5-100%

• Max Operating Pressure 高操作压力

• 70psi

• Proof Pressure 承受压力

• Z大值150psi

• Communication Type 通讯模式

• 模拟0-5V/4-20mA

• Input Power

  输入功率

• +15VDC ±2% at 25mA

  -15VDC ±2% at 180mA

• Command Signal 控制信号

• 模拟信号0-5 VDC

• Output Signal 输出模拟信号

• 模拟信号0-5 VDC

• Power Consumption 功耗

• 3.1W

• Temperature Range 温度范围

• 5-45 Deg C

• Materials 材料

• 316LSS,PTFE

• Weight 重量

• 0.8kg

 氧气质量流量计

结构紧凑

高精度

稳定性好

可测量腐蚀性气体