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氩气质量流量计

产品时间:2020-08-18

简要描述:

MC-1900L氩气质量流量计
数字型橡胶密封质量流量控制器
◆ 高精度及性能,流量可覆盖2sccm-50000sccm(相对于N2)
◆ 兼容RS485和模拟通讯模式,通讯模式及协议
◆ 精度 ≤0.25%F.S及多气体多量程选择

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 氩气质量流量计  

 MC-1900L 数字型橡胶密封质量流量控制器 

  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 单气体2-5000sccm
  • Control Valve Type 阀门类型
  • 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
  • Fitting
    接头
  • 1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容
    IGS 底部/表面贴装(c或w密封)
  • Seals 密封
  • 金属 Metal
  • Response Time 响应时间
  • ≤1Sec(超过满量程10%)
  • Accuracy
    精度
  • 25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)
    2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)
  • Linearity 线性度
  • ≤ 满量程的±0.5%
  • Repeatability 重复性
  • ≤ 满量程的±0.2%
  • Differential Pressure 压差
  • 7 - 40psi
  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)
  • Control Range 控制范围
  • 满量程的2-100%
  • Max Operating Pressure Z高操作压力
  • 70psi
  • Proof Pressure 承受压力
  • Z大值140psi
  • Communication Type 通讯模式
  • 模拟0-5V / RS485
  • Input Power
    输入功率
  • +15VDC ±2% at 100mA
    -15VDC ±2% at 200mA
  • Command Signal控制信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-100%
  • Output Signal 输出模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-100%
  • Surface Finish 表面处理
  • 电解法抛光和超洁净 ≤ 5Ra
  • Temperature Range 温度范围
  • 5-45 Deg C
  • Materials 材料
  • 316LSS,316SS,PTFE,KM45
  • Weight 重量
  • 1.0kg

氩气质量流量计

       Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,是多种气体配套产品 的全球化公司,拥有自己的研发团队,掌握先进的核心技术,专注于全球广泛的高科技领域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同先进工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球 服务支持方案。Warwick 始终 致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。

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