流量控制系统

流量控制系统特征：

MC-DG910C  通用数字型金属密封质量流量控制器
    ◆    高精度及性能,流量可覆盖2sccm-50000sccm（相对于N2）
    ◆    高纯度及金属密封设计,适用于广泛的行业需求,包括腐蚀性气体
    ◆    兼容RS485和模拟通讯模式,便于操作
    ◆    多气体多量程控制可为客户大幅节省成本

 MC-DG910C 通用数字型金属密封质量流量控制器  

• Full Scale Range (N2 Eqv)
• 单气体2-5000sccm

• Control Valve Type 阀门类型
• 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

• Fitting
  接头
• 1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容
  IGS 底部/表面贴装(c或w密封)

• Seals 密封
• 金属 Metal

• Response Time 响应时间
• ≤1Sec(超过满量程10%)

• Accuracy
  精度
• 25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)
  2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)

• Linearity 线性度
• ≤ 满量程的±0.5%

• Repeatability 重复性
• ≤ 满量程的±0.2%

• Differential Pressure 压差
• 7 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率
• Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围
• 满量程的2-100%

• Max Operating Pressure Z高操作压力
• 70psi

• Proof Pressure 承受压力
• Z大值140psi

• Communication Type 通讯模式
• 模拟0-5V / RS485

• Input Power
  输入功率
• +15VDC ±2% at 100mA
  -15VDC ±2% at 200mA

• Command Signal控制信号
• 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-100%

• Output Signal 输出模拟信号
• 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-100%

• Surface Finish 表面处理
• 电解法抛光和超洁净 ≤ 5Ra

• Temperature Range 温度范围
• 5-45 Deg C

• Materials 材料
• 316LSS,316SS,PTFE,KM45

• Weight 重量
• 1.0kg
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流量控制系统

         Warwick 创建于英国，是一家高速成长的科技公司，拥有自己的研发团队和核心技术，专注于广泛的高科技领域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始 设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。