产品时间:2021-12-18
流量控制系统 流体的流量控制系统一般由控制元件如PLC,和执行元件如质量流量控制器等组成,根据实际的工作状况、流体的状态、温度、化学性能、流量等选用合适的产品,实现控制过程的自动化和精细化。 下面举例气体质量流量控制器的选型
流量控制系统特征:
MC-DG910C 通用数字型金属密封质量流量控制器
◆ 高精度及性能,流量可覆盖2sccm-50000sccm(相对于N2)
◆ 高纯度及金属密封设计,适用于广泛的行业需求,包括腐蚀性气体
◆ 兼容RS485和模拟通讯模式,便于操作
◆ 多气体多量程控制可为客户大幅节省成本
MC-DG910C 通用数字型金属密封质量流量控制器
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm
Control Valve Type 阀门类型
常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
Fitting
接头
1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容
IGS 底部/表面贴装(c或w密封)
Seals 密封
金属 Metal
Response Time 响应时间
≤1Sec(超过满量程10%)
Accuracy
精度
25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)
2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)
Linearity 线性度
≤ 满量程的±0.5%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.2%
Differential Pressure 压差
7 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范围
满量程的2-100%
Max Operating Pressure Z高操作压力
70psi
Proof Pressure 承受压力
Z大值140psi
Communication Type 通讯模式
模拟0-5V / RS485
Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 100mA
-15VDC ±2% at 200mA
Command Signal控制信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-100%
Output Signal 输出模拟信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-100%
Surface Finish 表面处理
电解法抛光和超洁净 ≤ 5Ra
Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS,316SS,PTFE,KM45
Weight 重量
1.0kg
流量控制系统
Warwick 创建于英国,是一家高速成长的科技公司,拥有自己的研发团队和核心技术,专注于广泛的高科技领域的应用,其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化"的解决方案及相关产品,客户包括但不限于原始 设备制造商(DEM)和所需用户(END-USER)。